YS松下晶圓定位傳感器，日本Panasonic定位傳感器電子樣本

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    重量 本體重量：約75g

    氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。

    因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

    而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

    0.5ms的高速反應

    實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和。

    基于2段受光元件的位置檢測

    利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。

    傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜。可根據傳感器的設置情況靈活調節。

    可從四個方向引出電纜

    以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，危險。

    M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

    使用環境溫度 0?＋55℃(注意不可結露)、存儲時：?10?＋70℃

    使用環境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH

    使用環境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

    耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

    絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

    耐振動 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時

    耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

    投光元件 LED(調制式)

    材質  外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯

    電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm

    電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m

    內置放大器的小巧、輕盈型

    尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質量約為75g的小巧、輕盈型。

    靈敏度設定 背面教導：按本體靈敏度設定按鈕運行

    檢測靈敏度切換：本體開關2bit、4級或外部輸入的2級選擇式

    能 保護構造 IP20(IEC)

YS松下晶圓定位傳感器，日本Panasonic定位傳感器電子樣本